实验项目：
1.了解并熟悉仪器的工作原理和性能
2.掌握如何利用设备测试样品的方法
实验仪器：
椭圆偏振测厚仪 型号：FMD6133
指标：
偏振器方位角读数范围：0°-180°
测量范围：1nm-300nm
测量值：≤1nm
入射角：30°-90°；误差：≤0.1°
度盘刻度：每格2度
游标zui小读数：0.05°
光学中心高度：152mm
工作台直径：Φ70mm